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江丰电子取得一种钼钛合金管靶及其制备方法与应用专利,能够用于面板显示领域

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据国家知识产权局公告,宁波江丰电子材料股份有限公司取得一项名为“一种钼钛合金管靶及其制备方法与应用“,授权公告号CN115488333B,申请日期为2022年9月。

专利摘要显示,本发明涉及一种钼钛合金管靶及其制备方法与应用,所述制备方法包括如下步骤:(1)钼粉与钛粉依次经混合、装模、冷压处理、脱模、真空烧结以及整形,得到钼钛合金管坯;(2)步骤(1)所得钼钛合金管坯经包套焊封、脱气处理、热等静压拼接处理、热处理以及第一机加工,得到钼钛合金管;(3)背管与步骤(2)所得钼钛合金管经钎焊与第二机加工,得到所述钼钛合金管靶。本发明通过先冷压再真空烧结,降低管坯的变形量,进行热等静压拼接处理可得到大尺寸钼钛合金管,再通过热处理去除内部应力,搭配合理的工艺参数,所得钼钛合金管靶致密度高,内部组织结构均匀且晶粒细小,能够用于面板显示领域。


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